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光刻胶底抗反射涂层
产品简介
至昕有机硅光刻胶底抗反射涂层主要由硅树脂、光引发剂、溶剂等组成，可有效减少反射和驻波效应、凹缺效应，提高尺寸均一性和图案分辨率。
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产品特性
高折射系数
高紫外光吸收率
产品应用
半导体集成电路制造
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